Screw Vacuum Pumps DRYVAC 系列螺杆干泵：LV80(C)、LV140(C)、LV250(C)

DRYVAC DV450/DV650/DV650-i/DV650-r/DV1200/DV1200S-i/DVR5000C-i

（RS-i）

DRYVAC 泵为干式压缩真空泵。DRYVAC 650 S 和S-r 是一个螺杆泵，DRYVAC 1200 S 是

两个并联的螺杆泵，DRYVAC 5000 RS-i 是罗茨泵和螺杆泵的组合。DRYVAC sprinter 和enduro

型号泵在压力>100 毫巴时的抽气速度已经优化。因此这些泵的抽气时间短。这些型号的泵尤其适用于

快速短周期循环操作，例如进片室（Load Lock）。

此外，DRYVAC enduro 型号泵拥有适合加工工业应用的所有特点，比如配有气镇阀。

DRYVAC champion 系列中的各型号泵设计能够在苛刻的工艺负荷下保证运行可靠性。DRYVAC

champion 系列泵已被优化，能够处理PV 和FPD 工业中产生的典型气体。这些泵因设计合理而性能优

异，能满足工业安全要求。这些泵配备了能对转子进行吹扫（气镇）以及对轴封进行吹扫的吹扫气系统。

所有Dryvac 泵基本上配备了相同的电机，所需的变频器或者内置于泵上（机载），或者单独提供

需另外安装在控制架上（S-r 型号）。

所有Dryvac 泵已准备好直接与Ruvac 罗茨泵连接。

泵为水冷，使用合成油或PFPE 润滑。

部分技术参数：

抽速：80 ～ 5000m3/h

极限真空度：< 5×10-4mbar

噪音：65dB

冷却方式：水冷

vacuum H 10