分子泵是分子泵为复合分子泵，其由涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大压缩比高，牵引泵高压强时抽速大，压缩比高的特点，扩展了分子泵的应用范围。复合分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空
前级泵是双级直联高速旋片式真空泵，由泵支座、油箱、电机支座、底板和泵芯组成，配置止逆阀和气镇阀保护真空泵和真空系统。效率高、噪音低、易操作及维护方便。
广泛应用于制冷、化工、医疗、镀膜、干燥、实验室、热处理、电子与半导体等领域。
分子泵技术参数
前级泵-机械泵技术参数
分子泵系统外形尺寸：长600mm*宽700mm*高815mm。